该超薄膜不含碳，取而代之的是非晶硅膜，薄区非晶膜厚约5纳米(特殊要求厚度可定制)，特点是耐受不同组分等离面碳污染。可保证纳米/原子尺度(S)TEM-EDS/EELS面分布图长时采集过程中无明显积碳现象。适用于对于小尺寸超分散纳米材料以及含碳材料的高分辨透射微结构分析。