楔入式抛光具可用于将材料削薄到电子透射级，以便透射电镜的观察。楔入抛光可在一个平面内产生大的电子穿透区域，对于半导体非常理想。也可用于同时进行多面的抛光，如对薄膜和超导体。两个竖立的千分尺头可在样品上产生放射状的或楔入式的角度。同时当在一倒置式电镜下观察样品时，千分尺头前端可支撑样品。