超薄碳膜我们书面名称叫超薄微栅膜，是在微栅膜的基础上又镀了一层超薄纯碳膜，覆盖在微孔上面，这层膜大约5nm厚,电子束长时间照射不会产生黑斑，适合粒径较小、分散性较好、衬度较低的样品做高分辨晶格像观察。